Part-1:高深寬比電鍍技術之需求來源
-晶片封裝結構、3D封裝、封裝技術的演進
-扇入型與扇出型晶圓級封裝技術
-2.5D中介層封裝技術
-3D IC TSV先進封裝技術簡介
-3D IC TSV先進封裝技術之產品
-3D IC TSV在高階手機的應用
Part-2:基本電鍍原理與應用
-基本電鍍原理
-電鍍系統中的物理化學效應
-電鍍沉積的成長機制
Part-3:高深寬比填孔電鍍製程原理與機制
-電鍍填孔製程簡介
-通孔與盲孔電鍍製程的差異
-通孔填充的成長機制
-盲孔填充的成長機制
Part-4:高深寬比填孔電鍍化學配方簡介
-電鍍配方
-電鍍還原反應機制
-電鍍添加劑簡介-加速劑、抑制劑、平整劑
-電鍍製程的熱力學觀點
Part-5:高深寬比填孔電鍍設備與電鍍液分析設備簡介
-水平式電鍍系統
-垂直式電鍍系統
-基本電鍍參數設定
-高深寬比電鍍銅的流體力學分析
-半透膜在電鍍系統中的應用
-電鍍添加劑分析系統